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          無塵潔凈室基本常識和凈化原理

          無塵潔凈室基本常識


          一、無塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。


          二、無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設備,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外,尚有機器等之發塵源,這些發生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。


          三、無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的好凈化設備之一,它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區域,達到生產車間所要求的生產潔凈環境。


          四、無塵潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。


          五、每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。


          無塵潔凈室的凈化原理


          氣流→初效空氣處理→空氣調節→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→高效送風口→潔凈室→帶走塵埃(細菌) → 回風夾道→新風、初效空氣處理。

          重復以上過程,即可達到凈化目的。


          技術參數

          換氣次數:十萬級10-15次/小時;

          萬級15-25次/小時;

          千級50-52次/小時;

          百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s;

          壓差:主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對非潔凈區≥10Pa;

          溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;

          新風補充量:總送風量的20%-30%;


          結構材料

          1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門,窗采用鋁合金玻璃固定窗。

          2.地面采用環氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。

          3.凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作,并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

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